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国jiazhong大科学仪器奥羫hieyu乐网址开发专xiang“chang发she莋u璧缱酉晕⒕悼⒑陀τ谩眡iang膋e忱鹴ong过科技部验shou
2019-12-06

       12月6日,由北京奥羫hieyu乐网址科仪gu份有限公薺ing械e国jiazhong大科学仪器奥羫hieyu乐网址开发专xiang“chang发she莋u璧缱酉晕⒕悼⒑陀τ?rdquo;xiang目技术综he验shou会zai北京外国专jia大厦召开,科技部专jia组成员、xiang目qian头单位、hezuo和应用单位代表参加liao本次会议。



       会上,验shou专jia组xianchang听取liao奥羫hieyu乐网址科仪xiang目负责人zhang永明suo做de完成情况汇报,观看liaoxiang目视频,听取liao异地测shi情况汇报。与会专jia组成员对xiang目完成情况给yu高度评价,yi致建议tong过验shou。



       奥羫hieyu乐网址科仪duo年来yi直致力yu电子显微镜产品de研zhi开发与技术sheng级,1975年奥羫hieyu乐网址科仪研zhi成功de我国第yi台DX-3型扫描电子显微镜分bian率da到10nm;1985年 与美国AMARY公司hezuo开发deKYKY-1000B扫描电子显微镜分bian率da到6nm;直至jin天KYKY-EM8100型chang发she莋u璧缱酉晕⒕捣謆ian率da到liao1nm。
       此次参与验shoudechang发she莋u璧缱酉晕⒕凳悄擅卓萍佳芯坎豢扇鄙賒e工具,为前沿科技研究提供zhong要支cheng,提sheng高duan科学仪器研zhishui平,促jin精密zhi造ye发展,满足半导体技术、生ming科学、环jing保hu等领yude迫切xu求。该xiang目突poliao高分bian电子guang学成像系统设计、chang发she枪工程化设计zhi造、电子束加速镜筒设计zhi造等duoxiang关键技术,成功开发出具有自zhuzhi识产权de肖特jichang发she莋u璧缱酉晕⒕担謆ian率指biao分别da到和优yu3nm@1kV和1nm@30kV,da到国际yi流shui平,ji大促jinliao我国电子guang学仪器产yede发展,使我国扫描电镜实xian台絲i椒稍剑行Ы饩龅鼻?ldquo;卡脖子”问题,dapoliao国外产品垄断局mian,促jin国jia、民族工ye发展。ji大推动和提高我国前沿科学研究、zhong大工程和战略型新xing产ye高duan装beide国产化和自zhu化shui平。





 

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