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  • 01 出现分子泵guo流保hu故障信号怎么办?

    分子泵guo流保hu分为jiasuzhongguo流保hu与恒su运行zhongguo流保hu两zhong情况,应分biezhenduan:
    1)jiasuzhongguo流保hu
     可neng情况:蟙i陈┢hen空度较差
     检测方法ji建议:
     1)观cha分子泵前级zhen空度是否优于10Pa;
     2)用检漏仪对蟙i辰衵heng机检漏,确保蟙i澄蘼狐br />  3)确保蟙i陈┞试谠市矸段谇仪凹队庞?0Pahou重qi分子泵。
    2)恒su运行zhongguo流保hu
     可neng情况:分子泵运行zhong负载突bian
     检测方式ji建议:
     1)观cha蟙i硓hen空度bian化guo程;
     2)ruo出现较明蟳uan浠ㄈ?0-4Pa降至10-1Pa),则会出现guo流保hu情况。

  • 02 出现分子泵guo热保hu故障信号怎么办?

    分子泵在运转guo程zhong需要进行冷却,分风冷和shui冷两zhong。应分biezhenduan:
    (1)shui冷分子泵
             可neng情况1:shui流量、shui压、shui温、环jing温度异常
             检测方法ji建议1
             1)检查shui流量是否大于1L/min,shui压是否高于0.15MPa;
             2)shui温是否di于25℃,环jing温度是否di于40℃;
             3)上述条件如不满足,建议客户改善wai部环jing,cong而保证奥林匹克yu乐网址正常运行。
             可neng情况2:分子泵shui路堵sai
             检测方法ji建议2
             1)正常tongshuide情况下,将出shui管拔出,检查shui流情况,判duan堵saideyan重程度;
             2)ruo属于一ban堵sai(出shui羕an笤嘉鴖hui量de1/2),建议增大shui压或采用压缩空气chong洗shui路;
             3)ruo属于重度堵sai(出shui量不足进shui量de1/3)且chong洗无效,建议返厂维修。
             可neng情况3:热继电器损huai
             检测方法ji建议3:
             1)baojinghou,停机2~3小时(保持冷却),用万用biao测量分子泵热继电器zu值;
             2)8芯产品测量6、8jiao,12芯产品测量5、6jiao,ruo继电器损huai,属于开路状态;
             3)热继电器损huai时,建议返厂维修。
    (2)风冷分子泵
             可neng情况1:环jing温度异常
             检测方法ji建议1
             环jing温度是否di于35℃,ruo不满足,建议用户改善wai部环jing,襶uanVし肿颖谜T诵校狐br />          可neng情况2:热继电器损huai
             检测方法ji建议2
             1)baojinghou,停机2~3小时,用万用biao测量热继电器器zu值;
             2)8芯产品测量6、8jiao,12芯产品测量5、6jiao,ruo继电器损huai,属于开路状态;
             3)热继电器损huai时,建议返厂维修。
             可neng情况3:风扇wei运转、导线故障
             检测方法ji建议3
             1)查kan风扇neng否正常运转,并根据具ti情况选择是否更huan风扇;
             2)检查风扇供电线是否有duan路或许虚接,襶uanVす┑缯!Ⅻbr />          可neng情况4:kong制器风扇插座无电压输出
             检测方法ji建议4:
             用万用biao测量风扇插座输出电压是否正常,并根据具ti情况进行修复。
             可neng情况5:电缆线故障
             检测方法ji建议5
             测量电缆线导线是否有虚接、duan路等情况,并ji时修复,然hou即可正常使用。
             可neng情况6:kong制器损huai
             检测方法ji建议6
             1)将分子泵端电缆线与泵脱开,短接6、8jiao(8芯泵)或5、6jiao(12芯泵); 
             2)闭合kong制器电源开关,如果kong制器显示guo热baojing,建议返厂维修。
     

  • 03 出现分子泵guo载保hu故障信号怎么办?

    分子泵guo载保hu分为特zheng频率guo载和其它频率guo载保hu两张情况,应分biezhenduan:
    (1)特zheng频率guo载
             可neng情况:zhou承损huai、ye片卡死、sui泵
             检测方式ji建议:
             1)油run滑分子泵,run滑觮ou淌奔鋌ian黑uan挥蚳ou短时间再次bian黑说明zhou承损huai;
             2)油run滑分子泵,转dong供油zhui;脂run滑分子泵转dongye片,如果可以转dong但手离开houma上停止或有明显de迟滞现xiang,说明zhou承损huai;如果不neng转dong,说明ye片卡死或sui泵;
             3)上述情况,建议返厂维修。
    (2)其它频率guo载
             可neng情况1:分子泵jiasuzhong长qi漏气,电流guo大
             检测方法ji建议1
             1)观cha分子泵前级zhen空度是否优于10Pa;
             2)用检漏仪对蟙i辰衵heng机检漏,确保蟙i陈┞试谠市矸段冢狐br />          3)确保蟙i陈┞试谠市矸段谇仪凹队庞?0Pahou重qi分子泵。
             可neng情况2:前级zhen空度偏di
             检测方法ji建议2
             测量分子泵前级口zhen空度,确保优于10Pa,并无漏气hou,再次qidong分子泵。
             可neng情况3:前级阀损huai
             检测方法ji建议3
             取下前级阀进行检测,如损huai则更huan。
             可neng情况4:电缆线故障
             检测方法ji建议4:
             测量电缆线导线本身是否有虚接、duan路等情况,并ji时修复,然hou正常qidong分子泵。
             可neng情况5:kong制程序问ti
             检测方法ji建议5
             查kankong制器工作频率与所使用分子泵是否一致,ruo不匹配,建议将kong制器返厂维修。

  • 04 FD-K分子泵kong制器故障dai码秊i莝hi么han义?

    FD-K电源故障dai码
    E001 jiasuzhongguo流
    E003 恒su运行guo流
    E004 jiasuzhongguo压
    E011 散热器guo热
    E013 bian频器guo载
    E014 电机guo载
    E015 wai部奥林匹克yu乐网址故障
    E016 EEPROMdu写错误
    E017 RS485tong讯错误
    E019 bian频器程序损huai
    E020 CPU错误
    E022 wai部gei定故障

  • 05 FD-II(B)、TCDP-II分子泵kong制器故障dai码秊i莝hi么han义?

    FD-II(B)、TCDP-IIkong制器故障dai码
    故障dai码 故障lei型
    ERR 按键错误保hu
    OC kong制器短路保hu
    OL2 分子泵guo流保hu
    SL 分子泵guo载保hu
    OE kong制器guo压保hu
    LU kong制器欠压保hu
    ESP 分子泵guo热保hu
    OH kong制器guo热保hu

  • 06 sao描电镜更籬uai扑縣oukan瞙uai絰iang怎么办?

    可neng原因:灯丝对zhong不好,电子束没有打下lai

    处li方法:更huan完灯丝,拉开V1,jia高压,jia秠uan榷龋炼确旁诤鲜饰恢茫琷ia灯丝电压,使束流饱和,这时没有信号,调节电对謝ing拮饔茫馐币缍詚hongX、Y放在"0"附近。为了大致确定离子束偏向那边,三个luo钉先调那一个,是向下调还是向上调,首先要在三个luo钉de部位用双手按压ji下,如果按压时,pingmu突然亮了,用内六角扳手调节按压附近deluo钉,pingmu上有信号,将亮度、秠uan榷鹊鹘谑实保僖lai蔚鹘趍ei一个luo钉,观cha图xiang最亮。然hou再调节电对zhongX、Y,使图xiang在最亮处。

  • 07 sao描电綿i紉iang模糊不清,且xiang散hen大,调节消xiang散不neng有效消除怎么办?

    可neng原因:光纇uan蚓di彩躻uran
    (1)wu镜光阑wuran需要高温清洗或更huan;
    (2)綿i瞱uranyan重,需要清洗;
    处li方法:
    (1)先调节wu镜光阑杆更huan光阑,调节消xiang散至图xiang清晰;
    (2)如上述方法失效,说明綿i瞱uran,需进衳ing琱u保养,清洗维hu。
    补充说明:
          tong常情况下,电子束斑是圆xingde,由于电子光学綿i睬嵛uran或光阑wuran,电子束斑chengtuo圆xing,消xiang散器用于修正这个tuo圆xing斑束。
             
                         图1-欠聚焦                                                      图2-guo聚焦

                         图3-正聚焦

  • 08 1出现分子泵guo流保hu故障信号怎么办?

    分子泵guo流保hu分为jiasuzhongguo流保hu与恒su运行zhongguo流保hu两zhong情况,应分biezhenduan: (1)jiasuzhongguo流保hu分子泵guo流保hu分为jiasuzhongguo流保hu与恒su运行zhongguo流保hu两zhong情况,应分biezhenduan: (1)jiasuzhongguo流保hu分子泵guo流保hu分为jiasuzhongguo流保hu与恒su运行zhongguo流保hu两zhong情况,应分biezhenduan: (1)jiasuzhongguo流保hu分子泵guo流保hu分为jiasuzhongguo流保hu与恒su运行zhongguo流保hu两zhong情况,应分biezhenduan: (1)jiasuzhongguo流保hu分子泵guo流保hu分为jiasuzhongguo流保hu与恒su运行zhongguo流保hu两zhong情况,应分biezhenduan: (1)jiasuzhongguo流保hu分子泵guo流保hu分为jiasuzhongguo流保hu与恒su运行zhongguo流保hu两zhong情况,应分biezhenduan: (1)jiasuzhongguo流保hu分子泵guo流保hu分为jiasuzhongguo流保hu与恒su运行zhongguo流保hu两zhong情况,应分biezhenduan: (1)jiasuzhongguo流保hu分子泵guo流保hu分为jiasuzhongguo流保hu与恒su运行zhongguo流保hu两zhong情况,应分biezhenduan: (1)jiasuzhongguo流保hu分子泵guo流保hu分为jiasuzhongguo流保hu与恒su运行zhongguo流保hu两zhong情况,应分biezhenduan: (1)jiasuzhongguo流保hu分子泵guo流保hu分为jiasuzhongguo流保hu与恒su运行zhongguo流保hu两zhong情况,应分biezhenduan: (1)jiasuzhongguo流保hu分子泵guo流保hu分为jiasuzhongguo流保hu与恒su运行zhongguo流保hu两zhong情况,应分biezhenduan: (1)jiasuzhongguo流保hu分子泵guo流保hu分为jiasuzhongguo流保hu与恒su运行zhongguo流保hu两zhong情况,应分biezhenduan: (1)jiasuzhongguo流保hu分子泵guo流保hu分为jiasuzhongguo流保hu与恒su运行zhongguo流保hu两zhong情况

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